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知识链接2026年10月13日 来源：
中国石化报 作者:
●什么是电子级硫酸？ 电子级硫酸又称高纯硫酸或超纯硫酸，是硫酸产品中技术壁垒最高的高端品种。它与普通工业级硫酸的核心区别在于极低的杂质含量和超高的纯度，是半导体、显示面板等高端电子制造中不可或缺的关键基础化学试剂。 电子级硫酸的纯度通常需达到99.999%以上，先进制程甚至要求99.9999%或更高，其关键不在于主含量，而在于将杂质控制在ppb乃至ppt级别，以满足高端电子制造对超净高纯化学试剂的严苛要求。 ●电子级硫酸分为哪几个等级？ 电子级硫酸的等级划分主要依据国际半导体产业协会（SEMI）的标准，通常分为G1至G5五个等级，等级越高，对杂质（尤其是金属离子）的限制越严格。G1、G2级适用于光伏、液晶面板等领域的初步清洗；G3、G4级适用于8英寸晶圆、90纳米及以上制程的清洗和蚀刻；G5级是目前的最高等级，要求金属杂质含量≤10ppt，主要应用于集成电路制造，尤其是7纳米及以下的先进制程。 我国于2022年发布了电子级硫酸国标，将其分为E1至E5五个等级，整体与国际标准接轨，随制程提高，对金属杂质的要求逐级严格。
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