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突破高端电子级硫酸“卡脖子”困局 从产品达标走向体系自主2026年10月13日 来源:
中国石化报 作者:
储 政
□储 政 电子级硫酸是半导体制造中用量最大的核心湿电子化学品,广泛应用于晶圆清洗、刻蚀、光刻胶剥离等关键制程,其杂质控制水平直接决定芯片生产良率与制程稳定性。相较普通工业硫酸,高端电子级硫酸需实现ppt级超痕量杂质管控,技术壁垒极高。长期以来,海外企业凭借成熟工艺垄断全球G4级及以上高端市场,行业整体正朝着超低杂质、绿色低碳、废酸资源化利用的方向迭代升级。 经过多年技术攻坚,我国湿电子化学品已全面实现G2、G3级产品的规模化国产化,G4级及以上产品也完成技术突破并量产落地,高端供给能力大幅提升。但产业仍面临结构性短板,高等级产品在先进晶圆产线的长周期稳定适配、全工况批量导入及可靠性认证方面,与国际头部水平存在明显差距,叠加地缘政治博弈加剧与海外技术管制加码,核心工艺诀窍、高端配套装备、超痕量检测体系仍受制于人。产业自主可控仍需从产品突破向体系自主深度进阶。 南化公司G4级电子级硫酸实现稳定量产,为行业提供了一个从跟跑到并跑的典型样本。面对既有工艺在工程放大上的不足,南化公司依托自身深厚的工程化能力,反复摸索、持续迭代,最终沉淀出一套拥有自主知识产权、可实现工程化放大的技术体系。 客观来看,G4级量产仅是阶段性突破,对标国际顶尖水准,产品在长周期连续运行稳定性、多场景工况适配性上尚有优化空间,向G5级迭代仍面临严苛瓶颈。相较国外成熟的运维体系,国内高端电子化学品在工艺机理吃透、工程经验积累、配套产业链协同等方面仍存在短板。 当前,我国湿电子化学品产业已进入高质量发展新阶段,市场竞争的重心已转向G4级及以上等级的批次一致性、长周期稳定供货能力,以及配套耗材、检测、产线验证等体系化能力的综合比拼。 传统化工企业具备原料供给、大型装置运维、规模化生产的产业底座优势,切入电子新材料赛道具备天然禀赋,但普遍存在半导体应用场景认知不足、下游验证体系不完善的问题。南化公司的攻坚实践充分证明,高端材料自主化不能局限于参数达标或样品突破,更要深耕底层工艺机理、积累自主工程运维经验、构建全流程质量管控体系,这才是破解“卡脖子”难题、实现产业链安全可控的核心逻辑。 立足“十五五”,石化行业需持续锚定科技自立自强,充分发挥基础研究优势,深化“用研产销”协同创新,打通工艺开发、装备适配、质量检测、下游验证全链条,以传统产业高端化转型培育新质生产力,不断完善自主可控的湿电子化学品产业体系,夯实我国半导体产业材料安全根基,助力国家战略性新兴产业高质量发展。 (作者为中国石化集团公司高级专家)
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