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   第6版:中国石化报06版
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氟素高真空润滑油脂

2024年11月13日 来源: 中国石化报  作者:
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    【产品性能】

    真空工况广泛存在制药、化工、食品、电子信息等行业,尤其在光伏生产、半导体制造等尖端领域。光伏拉晶和半导体蚀刻需要极高的真空度,且工况中含有腐蚀性、氧化性或高粉尘物质。为获得更好的安全性和设备运转的持久性,能在航空航天高真空环境中使用的氟素高真空润滑油脂,在光伏行业和半导体行业也得到了普遍应用。

    【市场应用】

    氟素真空泵油广泛用于真空行业使用的旋片真空泵、罗茨真空泵、爪式真空泵的润滑和密封。氟素高真空润滑油脂用于泛半导体行业使用的高低温轴承、滑轨、阀门等。

    【中国石化的努力】

    据统计,我国有超600家真空泵企业,但是国内生产的主要是低端真空泵,高端真空泵还是以国外品牌为主,同时,高真空工况下的润滑剂也被国外品牌垄断。润滑油公司生产的长城48系列氟素高真空泵油、FMZ系列氟素高真空润滑油脂,在高真空及其他复杂的工况下具备不燃烧也不支持燃烧、抵抗强腐蚀介质的侵蚀、低挥发性、低饱和蒸气压等特点,逐步打破国外润滑品牌的垄断。尤其在半导体制造领域,已逐步实现全流程高真空润滑产品的国产化替代。

 

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